淺析獲得高真空超高真空的關(guān)鍵因數(shù)在許多實(shí)際應(yīng)用場景，例如真空冶金、空間模擬、分析儀器、高能物理、電子顯微鏡和分子束外延(MBE)等等，都需要高真空(HighVacuum/HV)或者超高真空(UltraHighVacuum/UHV)的環(huán)境。本文將1E-3mbar至1E-7mbar之間的壓力范圍定義為高真空（HV），將1E-7mbar至1E-12mbar之間的壓力范圍定義為超高真空（UHV）。以下內(nèi)容將講述獲得高真空和超高真空的關(guān)鍵重點(diǎn)。真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和制造高真空和超高真空系統(tǒng)的...

氦檢漏儀如何擺脫水蒸氣影響近日，INFICON（英福康）重磅發(fā)布了UL3000Fab和UL6000移動式氦氣檢漏儀，它們集成了三大創(chuàng)新功能：1、第二代智能抑零I-ZERO2.02、本底檢測I-Check3、水汽抑制HYDRO-S其中，HYDRO-S是一項(xiàng)研發(fā)的技術(shù)，用以擺脫水蒸氣對本底值的影響，實(shí)現(xiàn)更快、更精準(zhǔn)的檢漏的創(chuàng)新功能！HYDRO-S的英文全稱是HYDROgen-Suppression，中文翻譯為氫抑制。被測試對象在抽空過程中，水蒸氣會形成不必要的本底背景，該軟件可以...

英?？礖LD6000Plus的全新功能，了解一下您是負(fù)責(zé)RAC制冷空調(diào)或者是汽車空調(diào)管件的泄漏測試工作嗎？您是否還在為酒精、粘合劑、包裝材料或類似物質(zhì)引起的干擾信號給你的測試工作帶來困擾？那您就來了解一下INFICON集成了ES過濾器的全新HLD6000Plus檢漏儀吧，它能幫助您成功地規(guī)避這些干擾信號哦。INFICONHLD6000冷媒吸槍檢漏儀在暖通空調(diào)、制冷、汽車工業(yè)等諸多市場都有著*的品牌度，也收獲了用戶的廣泛認(rèn)可。如今，新品HLD6000Plus又從多個領(lǐng)域?qū)υ鍴...

INFICON電容薄膜規(guī)的特點(diǎn)概要一、電容薄膜規(guī)的常用型號1、CDG025D、CDG045/100/160/200二、電容薄膜規(guī)的特點(diǎn)·以可靠的超純陶瓷傳感器室為基礎(chǔ)構(gòu)成·在嚴(yán)酷和腐蝕性環(huán)境中,穩(wěn)定與可靠的高精度壓強(qiáng)測量·快速的預(yù)熱和恢復(fù)時間,提高生產(chǎn)率·良好的長期穩(wěn)定性,再現(xiàn)性和重復(fù)性·由于電子學(xué)直接安裝在傳感器上,改進(jìn)了溫度補(bǔ)償和EMC兼容性·對環(huán)境條件變化的敏感度的降低使得測量更穩(wěn)定·快速預(yù)熱,在開機(jī)的一分鐘內(nèi)達(dá)到快速穩(wěn)定和進(jìn)入準(zhǔn)備使用狀態(tài)·一鍵按鈕:調(diào)零功能和設(shè)置點(diǎn)調(diào)...

INFICON皮拉尼真空計(jì)的特點(diǎn)概要一、兩種類型的皮拉尼規(guī)1、穩(wěn)定溫度，測量施加的電壓變化等效測量真空度（INFICONPSG500）2、穩(wěn)定電壓，測量溫度變化等效測量真空度（熱偶規(guī)）二、皮拉尼真空計(jì)具體型號·PSG050/051·PSG100-SPSG101-S·PSG500/500-SPSG502·皮拉尼電容膜片復(fù)合真空計(jì)PCG400PCG410PCG5501）有皮拉尼規(guī)與特制的陶瓷薄膜規(guī)合成在一起2）兩種原理的規(guī)管全過程都工作3）100mbar—1000mbar使用薄膜...

英?？禋堄鄽怏w分析儀（RGA）在半導(dǎo)體制程中的重要性淺析第一、12英寸晶圓的市場需求趨勢明顯，要持續(xù)保證產(chǎn)品的高良率、保障真空環(huán)境的潔凈度以及在線同步偵測真空室就顯得非常之重要，這就必須要選擇INFICON的具有高靈敏度的殘余氣體分析儀（RGA）。第二、由于晶圓產(chǎn)品尺寸越做越小，對真空制程室內(nèi)的潔凈度要求也就越來越高。這其中，對真空要求嚴(yán)格的制程為金屬物理沉積，其真空全壓力必須達(dá)到1x10-8Torr左右，才能大幅降低背景水氣及氧氣對濺鍍金屬層電阻性的影響。而對于沉積晶粒大小...

PECVD：等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積，指借助微波或者射頻波使腔室內(nèi)的反應(yīng)氣體分子電離，形成的高化學(xué)活性等離子體在基片表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，沉積成膜。PECVD根據(jù)等離子發(fā)射源的動作情況可分為動態(tài)和靜態(tài)。根據(jù)設(shè)備結(jié)構(gòu)可分為鏈?zhǔn)?、團(tuán)簇式和U型。根據(jù)射頻頻率的不同可分為RF-PECVD(13.56MHz)和VHF-PECVD（30-300MHz）HJT設(shè)備：導(dǎo)質(zhì)結(jié)電池設(shè)備PVD：物理氣相沉積（(PhysicalVapourDeposition)，表示在真空條件下，采用物理方法，將材料源...

所有設(shè)備真空腔體的真空度檢測主要是用真空規(guī)，一般前級真空一個，本底和工藝監(jiān)控各一個，如果進(jìn)口的真空計(jì)，皮拉尼、熱電離規(guī)、電容薄膜規(guī)等，中國的真空設(shè)備廠家中，使用廣泛的進(jìn)口真空測量產(chǎn)品是深圳市科銳詩汀代理的瑞士英?？担↖NFICON）的真空計(jì)及控制器。但是困擾使用者的一個問題是英?？担↖NFICON）的真空計(jì)及控制器種類繁多，型號規(guī)格貌似沒有規(guī)律，很難記憶，今天我們就嘗試著解開這個困擾。真空計(jì)從原理上劃分很多種類，還有一些復(fù)合真空計(jì)，從大類上就可以分十幾種，加上測量寬度和精度的...

關(guān)于檢漏，關(guān)乎民用和工業(yè)用，小到自來水漏水大到我們的宇航艙漏氣，有些地方感覺微乎其微，有些地方且性命攸關(guān)。隨著真空環(huán)境的應(yīng)用不斷擴(kuò)大，越來越多的用戶關(guān)于檢漏的問題，如何檢，用什么檢？首先我們要知道漏怎么來數(shù)據(jù)化，漏率的單位就出來了，漏率是指在已知漏泄處兩側(cè)壓差的情況下，單位時間內(nèi)流過漏泄處的給定溫度的干燥氣體量。在分子流狀態(tài)下，漏率是壓差的一次方函數(shù)；在粘滯流狀態(tài)下，漏率是壓力二次方差的函數(shù)。在已知容腔傳熱系數(shù)的情況下，利用測得的壓力數(shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)際泄漏量的計(jì)算可消除由于溫度變化...

雙極旋片真空泵的問與答1、Q：雙極旋片真空泵可以應(yīng)用到哪些行業(yè)？A：深圳市科銳詩汀科技有限公司代理的旋片泵可廣泛應(yīng)用于太陽能、光學(xué)、薄膜、冶煉、鑄造、熱處理、手機(jī)、半導(dǎo)體、建材、微電子、平板顯示、Low-E玻璃、裝飾品等行業(yè)，在PVD、CVD、MBE、電廠凝氣器、油脂精煉系統(tǒng)、鋰電池干燥系統(tǒng)、直接蒸發(fā)系統(tǒng)、化工蒸發(fā)、蒸餾、濃縮系統(tǒng)、原料藥三合一干燥系統(tǒng)、食品脫水系統(tǒng)、冶金工業(yè)、鋼包脫氣、航天模擬實(shí)驗(yàn)、包裝等行業(yè)中體現(xiàn)了明顯優(yōu)勢。2、Q：我要抽到100Pa（1mbar），可以選...

真空泵的問與答（二）1、Q：真空泵可以應(yīng)用到哪些行業(yè)？A：真空泵廣泛應(yīng)用于太陽能、光學(xué)、薄膜、冶煉、鑄造、熱處理、手機(jī)、半導(dǎo)體、建材、微電子、平板顯示、Low-E玻璃、裝飾品等行業(yè)、尤其在電廠凝氣器、油脂精煉系統(tǒng)、鋰電池干燥系統(tǒng)、直接蒸發(fā)系統(tǒng)、化工蒸發(fā)、蒸餾、濃縮系統(tǒng)、原料藥三合一干燥系統(tǒng)、食品脫水系統(tǒng)、冶金工業(yè)、鋼包脫氣、航天模擬實(shí)驗(yàn)、包裝等行業(yè)中體現(xiàn)了明顯優(yōu)勢。2、Q：旋片泵有什么特點(diǎn)？A：旋片式真空泵通常有單級和雙極二種，是市場上使用廣泛的真空泵之一。其結(jié)構(gòu)主要有定子，...

INFICON高壓熱電離Pirani真空計(jì)HPG400將高壓熱電離技術(shù)與Pirani傳感器整合在一個體積小、價格低的規(guī)管中，可測量2×10-6mbar至大氣氣壓（1.5×10-6Torr至大氣氣壓）范圍內(nèi)的壓力。HPG400提供高可重復(fù)性和再現(xiàn)性壓力測量，實(shí)現(xiàn)精確控制鍍?yōu)R過程壓力。好處HPG400可節(jié)省成本和工具空間，降低真空系統(tǒng)的安裝與設(shè)置的復(fù)雜性高壓熱電離可以準(zhǔn)確可靠地測量1X10-5至1mbar范圍內(nèi)的壓力，進(jìn)而改善過程控制用戶可選的熱電離發(fā)射在5X10-2至1mbar...