一、型號(hào)全稱拆解

1. CDG045D

   CDG=Capacitance Diaphragm Gauge 電容薄膜規(guī)；045=45℃恒溫加熱；D = 數(shù)字型，帶雙路繼電器設(shè)定點(diǎn)、0~10V 模擬輸出

2. 3CC1：接口與電氣編碼

• 3：標(biāo)配2 路壓力閾值繼電器（SP1/SP2，鍍膜機(jī)聯(lián)鎖工藝bi bei）

• CC1：標(biāo)準(zhǔn) 15 針 D-Sub 模擬信號(hào)接口，0~10V 線性輸出，無(wú)工業(yè)總線（EtherCAT/Profinet）

3. 351：量程編碼

   351 = 0.1 Torr（100 mTorr）滿量程

   測(cè)量區(qū)間：0.0001~0.1 Torr，高精度中高真空規(guī)，不受氣體種類影響（氬氣 / 氧氣 / 氮?dú)庾x數(shù)一致）

4. 2300：法蘭規(guī)格

   DN16 ISO-KF 快卸法蘭（KF16），鍍膜腔體通用標(biāo)準(zhǔn)接口

二、核心硬件參數(shù)

1. 測(cè)量性能

• 恒溫：45℃控溫，抑制溫度漂移，等離子濺射工況長(zhǎng)期穩(wěn)定

• 精度：讀數(shù)的 ±0.15%（高精度級(jí)，半導(dǎo)體 / 光學(xué)鍍膜標(biāo)配）

• 分辨率：0.003% FS

• 輸出：0~10V DC 線性模擬信號(hào)，可直連 PGD500、VGC 控制器、PLC 采集

• 兩路繼電器設(shè)定點(diǎn)：無(wú)源觸點(diǎn)，用于濺射腔真空聯(lián)鎖、工藝啟停保護(hù)INFICON

• 響應(yīng)速度：≤30ms，壓力變化實(shí)時(shí)反饋

2. 結(jié)構(gòu)與材質(zhì)

• 傳感膜片：99.5% 高純氧化鋁陶瓷，耐等離子腐蝕、抗靶材濺射污染

• 真空接觸面：316L 不銹鋼，可輕度烘烤≤110℃法蘭溫度

• 允許過(guò)載：3bar；爆破壓力 6bar，意外進(jìn)氣不易損壞

3. 電氣供電

• 供電：14~30V DC（工業(yè)標(biāo)準(zhǔn) 24V 供電）

• 功耗低，預(yù)熱速度比老款縮短 50%，開(kāi)機(jī)快速進(jìn)入穩(wěn)定測(cè)量

三、配套設(shè)備（和你前面型號(hào)成套使用）

1. 搭配表頭：PGD500（398-802） 單通道真空顯示控制器，讀取 CDG 壓力數(shù)值、讀取繼電器閾值

2. 工藝設(shè)備：ADL GXB/HXB 雙極濺射電源，用于 PVD 磁控濺射腔體工藝真空精準(zhǔn)監(jiān)控

• 粗真空：PSG500 皮拉尼規(guī) + PGD500

• 工藝高精度真空：CDG045D 0.1Torr 電容規(guī)

四、典型應(yīng)用場(chǎng)景

1. 光學(xué)鍍膜、ITO 氧化物、絕緣靶雙極濺射生產(chǎn)線

2. 半導(dǎo)體 PVD、CVD、蝕刻設(shè)備工藝壓力閉環(huán)控制

3. 高精度真空實(shí)驗(yàn)、薄膜沉積工藝真空閉環(huán)調(diào)節(jié)

4. 等離子工藝，避免皮拉尼規(guī)氣體修正誤差