英?？祻?fù)合真空計(jì)

英?？嫡婵沼?jì)，英?？祻?fù)合真空計(jì)的優(yōu)點(diǎn)好處

從 5 x 10-10 mbar 至大氣氣壓（3.8 x 10-10 Torr 至大氣氣壓）的極其寬泛的測(cè)量范圍

在 10-8 ...10-2 mbar 5% 工藝壓力范圍內(nèi)為表現(xiàn)出優(yōu)秀的重復(fù)性

皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù) Bayard-Alpert 系統(tǒng)在高壓操作下絲極過(guò)早燒毀和過(guò)度污染

長(zhǎng)使用壽命氧化釔銥絲

備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場(chǎng)總線接口

高真空皮拉尼自動(dòng)調(diào)節(jié)，減少操作員的干預(yù)

符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制

英?？祻?fù)合真空計(jì)的典型應(yīng)用

對(duì)半導(dǎo)體過(guò)程和傳輸腔室的壓力測(cè)量

工業(yè)鍍膜

低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制

英?？嫡婵沼?jì)的操作步驟與注意事項(xiàng)可歸納如下：  

1.安裝與連接  

接口匹配：根據(jù)型號(hào)選擇適配的真空接口，確保密封件（O型圈、墊片）無(wú)老化或變形，連接時(shí)避免過(guò)壓（如KF法蘭最大承壓2.5巴）。  

電纜要求：傳感器電纜長(zhǎng)度≤50米，需屏蔽處理，電源需符合SELV安全標(biāo)準(zhǔn)（15-30VDC，紋波≤1Vpp），并配備保險(xiǎn)絲（≤1A）。  

系統(tǒng)連接：真空計(jì)需與真空泵、閥門(mén)等系統(tǒng)組件串聯(lián)，抽真空之前需預(yù)抽排除雜質(zhì)，避免油氣污染傳感器。  

2.啟動(dòng)與校準(zhǔn)  

開(kāi)機(jī)初始化：長(zhǎng)按電源鍵切換單位（帕、毫巴、托等），使用需在特定壓強(qiáng)下校準(zhǔn)。  

零點(diǎn)校準(zhǔn)：使用“歸零"按鈕或數(shù)字接口進(jìn)行自動(dòng)校準(zhǔn)，確保測(cè)量精度（如皮拉尼傳感器精度±15%讀值）。  

預(yù)熱與穩(wěn)定：部分型號(hào)（如電容薄膜真空計(jì)）需預(yù)熱10-30分鐘，待數(shù)值穩(wěn)定后記錄。  

3.測(cè)量操作  

壓強(qiáng)范圍控制：根據(jù)型號(hào)選擇合適量程，避免超量程使用導(dǎo)致?lián)p壞。  

實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)：觀察顯示屏數(shù)值變化，若出現(xiàn)驟升（如漏氣）或異常波動(dòng)，需立即停機(jī)檢查系統(tǒng)密封性（可用氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)）。  

單位切換：通過(guò)按鍵或數(shù)字接口切換單位（帕、毫巴、托、大氣壓等），支持四種單位循環(huán)切換。  

4.維護(hù)與存儲(chǔ)  

日常維護(hù)：定期清潔傳感器，避免水銀污染（麥?zhǔn)险婵沼?jì)需保持水銀純度），更換老化密封件，每3-6個(gè)月用標(biāo)準(zhǔn)真空源校準(zhǔn)。  

存儲(chǔ)條件：直立放置于干燥、避光、無(wú)腐蝕性氣體環(huán)境（溫度5-35℃，濕度≤60%），長(zhǎng)期不用時(shí)每月通電預(yù)熱30分鐘防潮。  

安全防護(hù)：運(yùn)輸時(shí)嚴(yán)防倒置（防汞倒流），操作時(shí)避免劇烈震動(dòng)，禁止在高壓下啟動(dòng)高靈敏度傳感器。  

維護(hù)與故障處理  

日常維護(hù)  

清潔：定期用干凈氣體吹掃傳感器，避免粉塵或油污污染。  

濾芯更換：等便攜式型號(hào)需定期更換過(guò)濾件，防止傳感器堵塞。  

校準(zhǔn)周期：高精度應(yīng)用建議每月校準(zhǔn)，常規(guī)使用每季度檢查零點(diǎn)漂移。  

常見(jiàn)故障排除  

讀數(shù)異常：檢查管道密封性、傳感器電纜連接，或重新校準(zhǔn)。  

傳感器損壞：若顯示“CLEANGAUGE"，需拆卸并使用有機(jī)溶劑清洗；若燈絲熔斷，需更換傳感器單元。  

電源問(wèn)題：更換電池或檢查輸入電壓是否在額定范圍內(nèi)。  

英?？嫡婵沼?jì)安全注意事項(xiàng)  

氣體兼容性  

避免測(cè)量易燃易爆氣體（如氫氣），部分型號(hào)僅適用于空氣、氮?dú)獾榷栊詺怏w。  

腐蝕性環(huán)境需選擇陶瓷涂層傳感器）。  

操作規(guī)范  

高壓場(chǎng)景（>1000mbar）需確保連接牢固，防止管道爆裂。  

維修時(shí)需斷開(kāi)電源，非專業(yè)人員勿拆卸內(nèi)部電路。