B-A皮拉尼電容薄膜真空計

B-A 型皮拉尼電容膜片真空計

大氣壓至超高真空三合一真空計 BCG450

INFICON Bayard-Alpert Pirani 電容式隔膜真空計 （Triple-Gauge™） BCG450 將三大不同技術(shù)的優(yōu)勢融合在一個體積小、價格低的規(guī)管中，可以測量從 5×^10-10 至 1500 mbar（3.75×^10-10 至 1125 Torr）的過程壓力和基本壓。BCG450 的設(shè)計旨在替代三個傳感器（熱電離、加強對流 Prani 和真空開關(guān)），因而節(jié)省了成本和寶貴的工具空間。

好處

• BCG450 可節(jié)省成本和工具空間，降低真空測量儀器的安裝與設(shè)置的復(fù)雜性

• 壓力超過 10 Torr 時壓力測量不受氣體類型限制，可以為任何氣體混合物提供更為可靠的預(yù)抽真空室控制

• 皮拉尼聯(lián)鎖保護絲極，防止過早燒毀

• 高真空皮拉尼自動調(diào)節(jié)，減少操作員的干預(yù)

• 大氣氣壓下壓差測量消除了大氣壓力變化引起的不確定性

• 傳感元件帶有板載校準(zhǔn)數(shù)據(jù)，易于更換，可保證再現(xiàn)性

• 備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場總線接口

• 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

新聞

• 新！現(xiàn)在提供 ProfiNET 數(shù)字接口！

典型應(yīng)用

• 對半導(dǎo)體過程和預(yù)抽真空室的壓力測量

• 工業(yè)鍍膜

• 在低至超高真空范圍中系統(tǒng)的一般真空測量和控制