INFICON真空計控制器

VGC401，VGC402，VGC403INFICON真空計控制器

與全部INFICON現(xiàn)有的真空計兼容，VGC400系列控制器可監(jiān)測從10^-10至1500毫巴（10^-10至1125托）整個壓強范圍和設點狀態(tài)。

VGC401，VGC402，VGC403INFICON真空計控制器優(yōu)勢：

1、          自動識別連接的INFICON真空計。

2、          用戶可選的測量單位（毫巴，托，帕，微米汞柱）。

3、          高分辨率-16位A/D變換器。

4、          多至6個可調節(jié)的設點與可調節(jié)的滯后，可分配給任何通道。

5、          承諾和標準：CE，ETL，RoHS。

6、          可編程的0至10伏圖形記錄儀，對每臺真空計或復合真空計均有對數(shù)/線性輸出（僅VGC102/403）。

7、          提供固件的在線更新，可通過RS232接口容易下載。

8、          通用的小型桌上式模式結構可容易地安裝在面板或19’’機架上。

9、          寬范圍電源90至250伏50至60Hz

VGC401，VGC402，VGC403INFICON真空計控制器

用途：

1、          氧化，擴散和LPCVD過程。

2、          其它要求無金屬的真空測量。